配備微型高功率直線電機(jī)，高精度光柵尺閉環(huán)反饋，可實(shí)現(xiàn)極大加速度和納米級定位精度。該系統(tǒng)既適合應(yīng)用于超精密加工設(shè)備，又是微電子、檢測領(lǐng)域的理想選擇。

優(yōu)化的機(jī)械結(jié)構(gòu)、創(chuàng)新的節(jié)流方式提供了相比國外同類產(chǎn)品更高的剛度、更大的承載能力和極低的耗氣量。同時(shí)可選真空預(yù)載技術(shù),保證正常的空氣工作間隙。

SL系列高性能氣體靜壓導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)緊湊，可用于構(gòu)建多軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。

無摩擦運(yùn)動(dòng)，確保了行業(yè)領(lǐng)先的直線度和俯仰/偏擺/翻滾，適用于半導(dǎo)體加工、檢測等對運(yùn)動(dòng)精度要求較高的領(lǐng)域。

可根據(jù)客戶的需求提供靈活的解決方案。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

非接觸式氣浮導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)

直驅(qū)直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)

定位精度±0.2μm

極低的耗氣量

精密光柵尺閉環(huán)反饋

高剛性重負(fù)載

極小的自激效應(yīng)